【屹唐股份：全资子公司拟约18.00亿元投建集成电路装备制造基地项目】屹唐股份公告，公司拟通过全资子公司在北京经济技术开发区投资建设集成电路装备制造基地项目。项目主要聚焦干法去胶、快速热处理、干法刻蚀及等离子体表面处理等设备规模化生产。项目投资总额约18.00亿元，包含土地出让金、厂房建设及设备购置等费用。