多家科创板企业传递产业景气信号

【经济参考网】中微公司宣布，Primo Domingo®气相高选择性刻蚀设备全球首台机，顺利交付国内重点集成电路研发制造客户。业内共识认为，芯片三维架构化是延续摩尔定律的重要方向，高选择性刻蚀是3D器件制造的核心工艺。