国产干泵龙头再落子，中科仪4.23亿元加码集成电路干式真空泵

【每日经济新闻】根据SEMI及中商产业研究院数据，2025年中国半导体设备行业市场规模达3755亿元，同比增长10%；预计2026年增至4131亿元。