米莱芯程高安：以i-line光刻机起步 逐级推进KrF、ArF、ArFi研发|连线创始人

【科创板日报】其中，聚源创投为中芯国际旗下产业投资平台中芯聚源管理的基金，深圳华控背后有京东科技参与出资，正和创投同样长期关注半导体产业链，这些产业资本的集体入局，市场将其视作对米莱芯程技术路线与工程化能力的实质性认可。