中微公司董事长尹志尧：设备是半导体产业“咽喉” 中微以平台化应对行业整合

【上海证券报·中国证券网】截至2026年6月底，超过8800个反应台在国内外220余条生产线实现量产，服务百余家客户，刻蚀和薄膜设备加工精度已达原子级水平。