【21世纪经济报道】1.北方华创向长鑫供应刻蚀、薄膜沉积、热处理、清洗等多类设备，其中12寸TSV设备已成熟并大批量出货。 2.中微公司的电容耦合等离子体刻蚀机已在长鑫DRAM多个关键制程中批量应用，下一代高深宽比刻蚀机型正在产线验证。