证券代码：688361 证券简称：中科飞测 深圳中科飞测科技股份有限公司投资者关系活动记录表 编号：2026-003 √特定对象调研 □分析师会议 □媒体采访 □业绩说明会 投资者关系活动类 别 □新闻发布会 □路演活动 □现场参观 □其他 （电话会议） 参与单位名称 详见附件 1《与会单位名单》 时间 2026 年 8 月 31 日- 9 月 10 日 地点 深圳、上海、无锡线下会议 上市公司接待人员 黄茵 证券事务专员 姓名 1、关于 2026 年上半年收入和订单构成情况。 答： 2026 年上半年，公司收入及订单结构整体正在发生积极变化： （1）产品结构方面，新产品暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备自 2025 年末以来，持续通过多家国内头部逻辑、存储以及先进封装客户 验证并实现销售，成为上半年收入以及订单的重要增长引擎，成为订单 结构中占比最大的产品；另外面向先进制程的明场纳米图形晶圆缺陷 投资者关系活动主 检测设备获得头部客户的部分订单，其他系列产品订单占比被不同程 要内容介绍 度稀释。 （2）客户结构方面，受 2025 年 HBM、2.5D/3D 封装订单集中确 认收入影响，先进封装收入占比阶段性超过 35%；订单方面，前道制程 在订单结构中占比超过 80%，其中存储占比显著提升，全年前道制程的 收入占比预计逐步回升至正常水平。 （3）工艺节点方面，先进制程收入占比约 60%，在订单结构中占 比超过了 80%，未来先进制程的收入贡献有望进一步增长。 2、关于新产品验证进展。 答： 公司持续推进新产品的研发与产业化，目前公司已推出涵盖光学、电子束、X 光三大核心技术的十三大系列设备，覆盖半导体量检测设备市场容量的 70%以上，其中十一大系列设备已通过国内头部客户产线验证并实现销售。上半年面向成熟制程的明场设备、基于 X 光技术的硅通孔铜填充空隙量测设备已通过国内头部客户验证，面向先进制程的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备产线验证进展顺利，各项关键性能指标以及长期运行稳定性上表现优异，预计年内有希望看到更多积极的验证结果；晶圆平整度量测设备在国内头部 HBM 客户产线验证进展顺利，预计年内有希望看到更多的成果；电子束关键尺寸量测设备已出货到头部客户产线验证。 3、关于各系列设备产业化进展。 答： 公司目前十三大系列设备全面覆盖国内最先进制程客户产线以及HBM、2.5D/3D 封装的扩产需求，并在全面推进面向国内更先进制程工艺的研发与产业化过程中取得重大突破，进一步巩固公司在先进制程以及 HBM、2.5D/3D 封装领域的国内显著领先优势。具体来看： （1）在国内最先进制程领域，十三大系列设备已出货国内头部客户产线验证。其中公司在暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备、无图形晶圆缺陷检测设备、套刻精度量测设备、金属膜厚量测设备、高深宽比铜填充空隙量测设备等多款设备是目前在国内先进制程领域唯一具备量产交付能力的国产供应商； （2）面向国内下一代先进工艺节点，十一大系列设备已经推出研发样机，其中无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、介质/金属膜厚量测设备等五大系列设备已经通过国内头部客户验证并实现销售；套刻精度量测设备、光学关键尺寸量测设备、晶圆平整度量测设备、高深宽比刻蚀结构量测设备、硅通孔铜填充 空隙量测设备等五大系列设备已经出货客户产线验证；暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备目前在场内测试中，预计将尽快出货至客户产线验证。 4、上半年毛利率波动的原因及未来展望。 答： 上半年毛利率相比往年有一定波动，主要受毛利率相对较低的先进封装业务收入占比提升，以及部分新产品市场导入初期定价相对较低两方面短期影响。 展望全年，结合目前在手订单结构，前道制程以及先进制程订单占比超过 80%，全年前道制程收入占比有望回归正常区间，先进制程收入贡献进一步提高，全年以及未来毛利率有望保持较高水平。 5、关于收入及利润未来展望。 答： 上半年收入同比增速放缓，主要受正常季节性波动以及客户验收、收入确认节奏影响。同时，为满足业务持续增长需要，公司进一步加大新产品及现有产品向更前沿工艺的研发和产业化投入，研发、销售及客户服务人员规模同步提升，带动职工薪酬、研发用材料费、市场推广费等研发及销售相关费用同比较大幅度增长；叠加毛利率受产品结构阶段性影响，上半年归母净利润出现亏损。 结合当前在手订单及新产品验证进展，全年收入有望保持较高增长水平。随着规模效应逐步显现，下半年利润有望环比改善。 展望未来，基于与头部客户就未来需求的沟通，以及公司在国内先进制程、HBM、2.5D/3D 封装等前沿领域的产品布局和客户覆盖等方面的全面领先优势，公司对全年订单及未来收入保持较高增速有信心。随着规模效应逐步显现，研发及销售等各项费用占收入的比例预计整体呈稳步下降趋势，公司盈利水平长期向好。 6、关于海外市场的拓展情况及未来展望。 答： 公司积极将各系列产品推广到更广泛的海外客户端并取得初步成果。目前公司无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、介质膜厚量测设备等多系列设备已通过多家海外先进封装客户的产线验证并实现批量销售；无图形晶圆缺陷检测设备、介质膜厚量测设备等多系列设备已出货至海外先进制程客户开展产线验证，推动海外订单规模持续增长。2026 年上半年，公司实现海外收入超过 5,000 万元，未来还有很大增长空间。凭借性价比以及定制化服务等优势，公司对未来海外收入的持续增长充满信心。 7、关于核心零部件供应稳定性。 答： 长期以来，公司在设备整机的研发和产业化进程中，同时会进行大量的投入与国产零部件供应商开展技术合作。目前公司在上游零部件国产化方面成效显著，能够满足各系列设备面向国内最先进制程客户的量产需求以及向更先进制程工艺的研发需求，通过持续与国产供应商就未来生产需求进行前瞻性沟通，能够确保供应链能够在设备完成研发后顺利转入大规模量产，为客户持续稳定供货。 除以上问题外，其余交流内容已在之前发布的投资者关系活动记录表或定期报告等公告中披露，本次不再重复披露。 附件 1《与会单位名单》 机构名称（排名不分先后） Citadel International Equities Gratus Investment Management 博时基金管理有限公司 长江证券股份有限公司 大成基金管理有限公司 德邦基金管理有限公司 富国基金管理有限公司 工银瑞信基金管理有限公司 广发证券股份有限公司 国泰基金管理有限公司 国信证券股份有限公司 海富通基金管理有限公司 华泰柏瑞基金管理有限公司 华泰证券股份有限公司 华夏基金管理有限公司 汇添富基金管理股份有限公司 嘉实基金管理有限公司 建信养老金管理有限责任公司 景顺长城基金管理有限公司 开源证券股份有限公司 摩根基金管理（中国）有限公司 南方基金管理股份有限公司 北京磐泽资产管理有限责任公司 鹏华基金管理有限公司 平安养老保险有限责任公司 共青城奇点私募基金管理合伙企业（有限合伙） 融通基金管理有限公司 上海东方证券资产管理有限公司 上海高毅资产管理合伙企业（有限合伙） 上海混沌投资（集团）有限公司 上海趣时资产管理有限公司 申万菱信基金管理有限公司 泰康资产管理有限责任公司 万家基金管理有限公司 西部证券股份有限公司 兴证全球基金管理有限公司 易方达基金管理有限公司 银华基金管理股份有限公司 招商基金管理有限公司 中欧基金管理有限公司 中信保诚资产管理有限责任公司 中信建投证券股份有限公司