中微公司发布多款高端设备

【上海证券报·中国证券网】上证报中国证券网讯（记者邓贞）记者9月1日获悉，中微公司在第十四届半导体设备材料及核心部件展（CSEAC 2026）期间宣布推出多款全新自主研发的高端微观加工设备，覆盖极高深宽比刻蚀、等离子体增强化学气相沉积、原子层沉积、金属薄膜沉积及碳化硅外延等关键赛道。